晶盛機(jī)電首條12英寸碳化硅中試線通線
關(guān)鍵詞: 晶盛機(jī)電 碳化硅襯底 規(guī)模化量產(chǎn) 12英寸中試線 國(guó)際客戶訂單
(文/羅葉馨梅)11月20日,晶盛機(jī)電(300316.SZ)在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司碳化硅襯底材料業(yè)務(wù)已實(shí)現(xiàn)6-8英寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)與銷售,量產(chǎn)產(chǎn)品核心參數(shù)指標(biāo)達(dá)到行業(yè)一流水平,8英寸碳化硅襯底在技術(shù)和規(guī)模方面處于國(guó)內(nèi)前列。與此同時(shí),公司首條12英寸碳化硅襯底加工中試線已正式通線。
晶盛機(jī)電介紹,當(dāng)前公司正積極推進(jìn)碳化硅襯底產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的客戶驗(yàn)證工作,送樣客戶范圍較此前有大幅提升,產(chǎn)品驗(yàn)證進(jìn)展整體順利。在持續(xù)擴(kuò)大客戶覆蓋的基礎(chǔ)上,公司已成功獲取部分國(guó)際客戶批量訂單,海外市場(chǎng)認(rèn)可度穩(wěn)步提升,為后續(xù)放量奠定基礎(chǔ)。

公司指出,6-8英寸碳化硅襯底主要面向車規(guī)級(jí)功率器件、新能源發(fā)電、工業(yè)控制等高端應(yīng)用領(lǐng)域,隨著新能源汽車滲透率提升和光伏、儲(chǔ)能等下游需求增長(zhǎng),相關(guān)市場(chǎng)保持較高景氣度。通過(guò)在晶體生長(zhǎng)、缺陷控制與拋光工藝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)持續(xù)投入,公司碳化硅襯底核心指標(biāo)逐步對(duì)標(biāo)國(guó)際一流水平,在良率和一致性方面積累了量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。
在此基礎(chǔ)上,晶盛機(jī)電首條12英寸碳化硅襯底加工中試線正式通線,被視為公司在大尺寸碳化硅襯底布局上的重要進(jìn)展。大尺寸化有望在同一片區(qū)內(nèi)集成更多器件單元、攤薄單位芯片成本,同時(shí)對(duì)設(shè)備、工藝及材料提出更高要求,中試線通線將為后續(xù)工藝優(yōu)化與規(guī)模化鋪路。
業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料,正處于從6英寸向8英寸、12英寸演進(jìn)的關(guān)鍵階段,具備大尺寸襯底量產(chǎn)與中試能力的企業(yè),有望在下一輪技術(shù)迭代中搶占先發(fā)優(yōu)勢(shì)。在公司既有設(shè)備與材料協(xié)同基礎(chǔ)上,晶盛機(jī)電碳化硅襯底業(yè)務(wù)的國(guó)際客戶開(kāi)拓進(jìn)展及12英寸中試線的后續(xù)爬坡情況,將成為資本市場(chǎng)持續(xù)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。
(校對(duì)/秋賢)
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