SK 海力士攜手東進半導體,開展EUV光刻膠研發
2025-12-09
來源:愛集微
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據報道,SK 海力士攜手東進半導體,開展高性能 EUV 光刻膠的聯合研發,將替代此前由日本 JSR、東京應化工業(TOK)等企業供應的 EUV 光刻膠,同時要開發出性能超越現有產品的新型材料。
2023 年,SK 海力士曾通過旗下子公司 SK Materials Performance 實現了 EUV 光刻膠的國產化,但彼時量產的產品為低規格型號。用于核心半導體層的高性能 EUV 光刻膠,長期以來 100% 依賴日本進口。
SK 海力士推進 EUV 光刻膠研發,一方面是為了最大化利用單臺價值 2000 億韓元的 EUV 光刻設備,另一方面是為了應對 DRAM 芯片中 EUV 光刻層需求的快速增長。
隨著 DRAM 芯片中 EUV 工藝的應用占比持續提升,光刻膠的研發必要性愈發凸顯。不同世代 DRAM 的 EUV 光刻層數量呈遞增趨勢:10 納米級 4 代(1a)為 1 層、5 代(1b)為 3 層、6 代(1c)為 5 層、7 代(1d)則達 7 層,10 納米以下制程產品的 EUV 光刻層數量預計還將進一步增加。
