國產(chǎn)光刻膠四“小巨人”,誰執(zhí)牛耳?
關(guān)鍵詞: 光刻膠 日本斷供 中國國產(chǎn)化 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 國產(chǎn)替代
伴隨著中日關(guān)系近日走向一定程度緊張局勢(shì),據(jù)傳日本產(chǎn)光刻膠將對(duì)中國全面斷供。有報(bào)道稱,"日本似乎已從本月中旬起全面停止向中國出口光刻膠的出貨",而此次中斷是“中國擔(dān)憂的最壞情況”。盡管日本政府和企業(yè)并未正式宣布此事,但業(yè)界已普遍將其視為既定事實(shí)。
然而,在政策支持、市場(chǎng)需求拉動(dòng)以及企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的多重驅(qū)動(dòng)下,中國電子化學(xué)品行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程顯著加速,以彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞電材為代表的國內(nèi)上市公司,正在光刻膠核心技術(shù)、高端產(chǎn)品和市場(chǎng)拓展上形成多維突破,實(shí)現(xiàn)對(duì)部分日系進(jìn)口產(chǎn)品的替代。
日本光刻膠或收緊斷供
隨著日本首相高市早苗最近的言論進(jìn)一步加劇了日中關(guān)系緊張,如今有傳言稱日本已經(jīng)收緊了對(duì)光刻膠的出口控制,多家日本公司被指與限制對(duì)華出口有關(guān)。據(jù)報(bào)道,占據(jù)全球約80%市場(chǎng)份額的信越化學(xué)和東京應(yīng)化已暫停向部分中國晶圓廠供應(yīng)ArF光刻膠。
但業(yè)內(nèi)人士指出,這一傳言可能源于信越化學(xué)因KrF產(chǎn)能有限而限制向規(guī)模較小的中國晶圓廠供貨。盡管日本方面并未發(fā)布正式的出口禁令,但此舉仍引發(fā)了外界的猜測(cè)。

此前,從11月18日至19日開始,未經(jīng)證實(shí)的消息在國內(nèi)社交媒體上迅速傳播,聲稱“佳能、尼康和三菱化學(xué)已暫停向中國出貨光刻膠”。受此影響,一些被認(rèn)為有望打破日本在高光刻膠市場(chǎng)壟斷地位的中國公司股價(jià)顯著上漲。但這一說法值得懷疑,因?yàn)榧涯芎湍峥祵?shí)際上生產(chǎn)光刻機(jī)及零部件,而三菱化學(xué)僅供應(yīng)光刻膠原料Lithomax。
不過,如果傳言屬實(shí),可能對(duì)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)造成重要影響。
目前,日本合成橡膠(JSR)、信越化學(xué)、東京應(yīng)化等企業(yè)控制著全球光刻膠市場(chǎng)70%以上的份額,以及高端EUV光刻膠市場(chǎng)高達(dá)95%的份額。雖然中國已成為全球光刻膠需求增長(zhǎng)最快的市場(chǎng)之一,但自給率仍然很低,光刻膠整體進(jìn)口依賴度高達(dá)80%-90%。
對(duì)于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,對(duì)日本的依賴度極高。例如用于制造110至180nm芯片的氪氟(KrF)深紫外光(DUV)光刻膠,中國只能自供5%。而用于制造7至65nm芯片的氟化氬(ArF)DUV光刻膠,以及7nm以下先進(jìn)制程所需的EUV光刻膠則完全依賴日本供應(yīng)。
據(jù)報(bào)援引業(yè)內(nèi)人士的話稱,日本在光刻膠市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位,在與其他國家發(fā)生政治或經(jīng)濟(jì)沖突時(shí),光刻膠往往是其首先打出的施壓牌。通常,高端光刻膠的保質(zhì)期只有六到十二個(gè)月,幾乎不可能大規(guī)模囤積。如果原材料供應(yīng)和設(shè)備維護(hù)受到干擾,中國主要的晶圓代工廠可能會(huì)減產(chǎn),甚至可能在一個(gè)月內(nèi)面臨完全停產(chǎn)。
目前,全球半導(dǎo)體市場(chǎng)正面臨全面的供應(yīng)短缺,不僅HBM的需求激增,標(biāo)準(zhǔn)DRAM的需求也同樣旺盛,這被視為中國企業(yè)加速發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)刻。但日本暫停光刻膠出口導(dǎo)致這一關(guān)鍵材料的采購出現(xiàn)不穩(wěn)定,中國存儲(chǔ)器產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)的速度可能會(huì)受到影響,進(jìn)而可能引發(fā)全球供應(yīng)鏈和整體價(jià)格結(jié)構(gòu)的變動(dòng)。
一位業(yè)內(nèi)人士指出,“尤其是在存儲(chǔ)器領(lǐng)域,中國企業(yè)一直在加緊建設(shè)工廠、擴(kuò)大產(chǎn)能,以應(yīng)對(duì)近期DRAM價(jià)格的飆升,但日本的出口限制可能會(huì)成為一大障礙?!?/span>
面對(duì)可能升級(jí)的限制,中國已推動(dòng)多項(xiàng)舉措來加強(qiáng)光阻劑的自主能力。
這些措施包括在2025年10月推出中國首個(gè)EUV光阻劑測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),旨在建立更清晰的技術(shù)框架;引導(dǎo)國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期優(yōu)先支持光刻膠等核心材料;以及敦促國內(nèi)晶圓廠優(yōu)先采購合格的本土產(chǎn)品。盡管進(jìn)口仍將占主導(dǎo)地位,但中國的目標(biāo)是在2026年實(shí)現(xiàn)40%所需光刻膠的自給自足,這一目標(biāo)遠(yuǎn)高于2024年約10%的國產(chǎn)化率。
此外,還有業(yè)內(nèi)人士稱,如果日本全面實(shí)施光刻膠禁運(yùn),中國可能以稀土出口禁令作為回應(yīng)。中國控制著全球約90%的稀土供應(yīng),而日本的電動(dòng)汽車和磁鐵產(chǎn)業(yè)高度依賴這些材料。同時(shí),日本半導(dǎo)體材料生產(chǎn)所需的鏑、鋱等稀土90%依賴從中國進(jìn)口,這也可能成為中國反制的籌碼。
四“小巨人”多線破局
在政策支持、市場(chǎng)需求拉動(dòng)以及企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的多重驅(qū)動(dòng)下,中國電子化學(xué)品行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程顯著加速,如國內(nèi)光刻膠企業(yè)已實(shí)現(xiàn)從樹脂、光敏劑到成品的全鏈條自主化,部分產(chǎn)品已進(jìn)入國際半導(dǎo)體大廠供應(yīng)鏈,在光刻膠核心技術(shù)、高端產(chǎn)品和市場(chǎng)拓展上形成多維突破。
據(jù)了解,中國從事光刻膠研發(fā)、生產(chǎn)的企業(yè)主要包括南大光電、彤程新材、晶瑞電材、上海新陽。得益于國內(nèi)需求增長(zhǎng)和政策層支持,四家上市公司業(yè)績(jī)普遍向好,驗(yàn)證了KrF/ArF光刻膠業(yè)務(wù)的成長(zhǎng)潛力。同時(shí),其在技術(shù)與產(chǎn)能突破、國產(chǎn)化替代進(jìn)程上也有序推進(jìn)。

2025年三季報(bào)顯示,彤程新材營收25.23億元,歸母凈利潤5.20億元,同比增長(zhǎng)11.46%,營收與凈利潤規(guī)模領(lǐng)跑行業(yè);南大光電營收18.84億元,同比增長(zhǎng)6.83%,歸母凈利潤同比增長(zhǎng)13.24%,穩(wěn)健的業(yè)績(jī)?yōu)楣饪棠z業(yè)務(wù)的持續(xù)研發(fā)與擴(kuò)產(chǎn)提供了資金保障;上海新陽營收13.94億元,同比增長(zhǎng)30.62%,歸母凈利潤同比增幅達(dá)62.70%;晶瑞電材實(shí)現(xiàn)營收11.87億元,盡管凈利潤規(guī)模僅為1.28億元,但增長(zhǎng)幅度高達(dá)19202.65%。
在光刻膠細(xì)分市場(chǎng)中,i-Line、KrF、ArF光刻膠是中國大陸12英寸集成電路晶圓制造主要應(yīng)用的光刻膠。隨著12英寸晶圓產(chǎn)能的提升以及先進(jìn)應(yīng)用和技術(shù)節(jié)點(diǎn)的提升,預(yù)計(jì)KrF光刻膠、ArF到2028年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)106.90億元,占中國大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)份額的71.12%。
其中,在KrF光刻膠領(lǐng)域,多家國內(nèi)上市公司已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并通過核心客戶驗(yàn)證。
據(jù)悉,彤程新材控股的北京科華所產(chǎn)KrF光刻膠國內(nèi)市占率超40%,上海基地1000噸半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)能步入試生產(chǎn),其自產(chǎn)樹脂的光刻膠產(chǎn)品投入市場(chǎng),超高分辨率KrF負(fù)性光刻膠還在重點(diǎn)存儲(chǔ)客戶處完成初步驗(yàn)證;晶瑞電材的KrF光刻膠已量產(chǎn)且銷量同比增長(zhǎng)數(shù)倍;上海新陽的KrF光刻膠則借助配套顯影液、蝕刻液的“材料包”優(yōu)勢(shì),批量供應(yīng)國內(nèi)晶圓企業(yè)。在其它國內(nèi)企業(yè)布局方面,八億時(shí)空的百噸級(jí)半導(dǎo)體KrF光刻膠樹脂高自動(dòng)化柔性/量產(chǎn)雙產(chǎn)線項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
在ArF光刻膠領(lǐng)域,頭部企業(yè)已攻克關(guān)鍵技術(shù),進(jìn)入量產(chǎn)爬坡階段。南大光電是國內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)28nmArF光刻膠規(guī)模量產(chǎn)的企業(yè),良率達(dá)99.7%,寧波500噸/年產(chǎn)線2025年底將全面達(dá)產(chǎn);彤程新材的ArF光刻膠已實(shí)現(xiàn)銷售;上海新陽的ArF干法通過驗(yàn)證,浸沒式也已獲得訂單。此外,鼎龍股份潛江30噸/年產(chǎn)能獲兩家晶圓廠訂單,300噸在建產(chǎn)能2025年第四季度試運(yùn)行;近期上市的恒坤新材ArF光刻膠已實(shí)現(xiàn)小批量銷售。
進(jìn)一步來看,彤程新材依托集團(tuán)資源搭建電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)化平臺(tái),全面發(fā)力光刻膠及配套試劑、顯示面板光刻膠等多元產(chǎn)品矩陣,上半年半導(dǎo)體光刻膠實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入近2億元,同比增長(zhǎng)超50%,連續(xù)兩年保持50%以上的高速增長(zhǎng)。從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來看,ArF光刻膠、KrF光刻膠、抗反射涂層、EBR等新產(chǎn)品系列在報(bào)告期內(nèi)陸續(xù)通過國內(nèi)多家客戶驗(yàn)證,逐步實(shí)現(xiàn)上量。
相對(duì)而言,南大光電、上海新陽、晶瑞電材均以濕電子化學(xué)品、前驅(qū)體等集成電路材料為核心根基,重點(diǎn)聚焦光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)與市場(chǎng)推廣。
目前,南大光電的多款光刻膠及配套材料產(chǎn)品在關(guān)鍵客戶處的測(cè)試進(jìn)展順利,前期獲單的ArF光刻膠產(chǎn)品持續(xù)穩(wěn)定供應(yīng),多款產(chǎn)品通過測(cè)試后有望逐步導(dǎo)入客戶供應(yīng)鏈。同時(shí),上海新陽在半導(dǎo)體高端光刻膠開發(fā)領(lǐng)域取得突破性進(jìn)展,已建成覆蓋i-Line、KrF、ArF干法、ArF浸沒式等各類光刻膠的完整平臺(tái),涵蓋研發(fā)合成、配制生產(chǎn)、質(zhì)量管控及分析測(cè)試環(huán)節(jié)。
此外,晶瑞電材的光刻膠主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠前道工序的光刻、顯影等關(guān)鍵環(huán)節(jié),由子公司瑞紅蘇州負(fù)責(zé)生產(chǎn),上半年銷售收入為1.06億元,占當(dāng)期營業(yè)收入的比重為13.79%,毛利率為44.22%。作為國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域的先驅(qū)企業(yè),瑞紅蘇州目前已實(shí)現(xiàn)近百種型號(hào)光刻膠的量產(chǎn)供應(yīng),產(chǎn)品覆蓋紫外寬譜系列、g-Line系列、i-Line系列等多個(gè)品類。其紫外寬譜系列光刻膠多年來持續(xù)穩(wěn)居國內(nèi)市占率首位;i-Line光刻膠系列在完成國家重大科技項(xiàng)目02專項(xiàng)后,已正式進(jìn)入規(guī)?;┴涬A段,服務(wù)于國內(nèi)知名半導(dǎo)體企業(yè)。
在DUV高端光刻膠領(lǐng)域,該公司進(jìn)展突出,包括多款KrF光刻膠已成功量產(chǎn),ArF光刻膠已實(shí)現(xiàn)小批量出貨,另有多款產(chǎn)品已向客戶送樣并推進(jìn)驗(yàn)證工作。
由此可見,彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞電材可在ArF、KrF、i線、g線等不同梯次產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)不同程度的量產(chǎn)、供貨等,且維持較高研發(fā)投入,推動(dòng)國產(chǎn)光刻膠從低分辨率(g線、i線)向中高分辨率(KrF、ArF)突破,以及逐步降低國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)進(jìn)口光刻膠的依賴,實(shí)現(xiàn)對(duì)部分日系產(chǎn)品的替代。盡管仍面臨上游原材料依賴、認(rèn)證周期長(zhǎng)與競(jìng)爭(zhēng)壓力大等挑戰(zhàn),但整體來看,國產(chǎn)光刻膠國產(chǎn)化進(jìn)程穩(wěn)步推進(jìn),從技術(shù)研發(fā)到商業(yè)化落地逐步突破,未來隨著研發(fā)投入持續(xù)轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力,國內(nèi)光刻膠進(jìn)口替代空間將進(jìn)一步打開。